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brooksinstrument高溫質量流量控制計

brooksinstrument高溫質量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹
5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。特點
高泄漏完整性（小

  • 產品型號：5850EMH / 5851EMH
  • 廠商性質：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2023-04-21
  • 訪  問  量：622
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品牌其他品牌類型其他
測量范圍12m3/h

brooksinstrument高溫質量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹

brooksinstrument高溫質量流量控制計5850EMH / 5851EMH的介紹

5850EMH 系列高溫金屬密封質量流量控制器結合出色的金屬密封泄漏完整性，為高溫氣體測量和控制提供了的性能，具有多種選擇，允許最大的應用靈活性。5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器，其提供與流速線性相關的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。

特點

  • 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）

  • 寬流速范圍（0.003 - 100 slpm）

  • 高純度 VAR 316L 不銹鋼

  • 無磨粒

  • 氦泄漏檢查端口

  • 常閉閥（可選常開閥）

  • 電致動閥復位

  • 低命令流量斷流

  • TTL 兼容"關閥"功能

優(yōu)勢

  • 穩(wěn)定、可靠的產品平臺

  • 高流量，高達 100 lpm（N2 當量）

  • 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏

  • 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修

應用

  • 光纖制造——MCVD，OVD，AVD

  • 水汽流量控制

5850EMH5851EMH
流量范圍-滿量程容量3 sccm - 30 slm (N2 equivalent)10 - 100 slm (N2 equivalent)
精度

±1% FS

±1% FS

重復性< ±0.25% of SP< ±0.25% SP
響應時間-常閉

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

模擬通訊

0-5 Vdc

0-5 Vdc



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